Ein Toter bei Chemieunfall in Nürnberger Fabrik

Das Unternehmen in der Nürnberger Thurn-und-Taxis-Straße stellt Halbleiterwafer her, die zur Chipherstellung benötigt werden. Am Freitag kam es dort gegen 11:30 Uhr zu einem Austritt von Chemikalien; bis zu 100 Rettungskräfte wurden benötigt, um die Lage unter Kontrolle zu bringen; sechs Rettungswagen, drei Notärzte und diverse Schnell-Einsatzgruppen waren beteiligt.

Noch vor Ort musste ein Mitarbeiter wiederbelebt werden. 20 Personen wurden leicht verletzt, acht weitere mittelschwer, zwei waren nach dem Vorfall bewusstlos. Einer der beiden verstarb mittlerweile im Krankenhaus. Insgesamt mussten 17 Mitarbeiter in Kliniken eingeliefert werden.

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Die Bevölkerung war nicht betroffen, die giftige Substanz blieb im Gebäude. Da aber bisher das Gebäude noch nicht betreten werden kann, gibt es noch keine Informationen zur Unglücksursache.

Bei der Herstellung von Siliziumkarbid-Halbleiterwafern werden eine ganze Reihe von Chemikalien eingesetzt, bei der Züchtung des Siliziumkristalls, bei der Schichtabscheidung, beim Polieren und beim Reinigen der dünnen Kristallscheiben. Die gefährlichste Chemikalie wird dabei beim letzten Arbeitsschritt, der Reinigung, verwendet. Das ist Flusssäure (Hydrogenfluorid), deren Dämpfe die Atemwege verätzen. Bei der Schichtabscheidung werden Silane verwendet, einige davon sind Chlorverbindungen, außerdem eventuell Phosphin, das extrem giftig ist.

Siliziumkarbid-Halbleiter haben gegenüber reinem Silizium den Vorteil, dass sie bei höheren Temperaturen und Spannungen funktionieren. Darum werden sie beispielsweise in Elektrofahrzeugen gerne eingesetzt, obwohl sie teurer sind als solche aus reinem Silizium.

Die Firma SyCrystal, die vermutlich der Ort des Unfalls war, wurde ursprünglich aus einem Forschungsprojekt der Universität Erlangen-Nürnberg gegründet und gehört seit 2009 zu einem japanischen Unternehmen, das einer der größten Halbleiterhersteller ist. Der Standort wurde erst in den letzten zwei Jahren deutlich erweitert. In den 25 Jahren des Bestehens gab es bisher keinen derartigen Unfall.

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